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羅技驅(qū)動頭式研磨拋光系統(tǒng)
更新時間:2018-03-21   點擊次數(shù):2862次

羅技驅(qū)動頭式研磨拋光系統(tǒng)

——用于“硬質(zhì)材料”加工的高速研磨和拋光系統(tǒng)

 

      您的應用是否需要處理硬質(zhì)半導體材料,如藍寶石,氮化鎵或碳化硅?

DL/DP系統(tǒng)主要針對這些材料的研磨和zui后階段半自動拋光而設(shè)計。

     DL系列精密研磨系統(tǒng)可同時處理幾何精度要求特別高的材料,可同時處理四個200mm / 8“樣品(或多個較小樣品),該系統(tǒng)是小型研究實驗室的理想選擇。

     DP系列高速精密拋光系統(tǒng)主要用于拋光堅硬的材料,以滿足其表面外延質(zhì)量非常高的要求。加工能力可達300mm / 12“(或多個較小的樣品),并可在每個承載頭上應用zui多50公斤的加載力。

 

功能包括:

1、DLDP系統(tǒng)均可作為單個(DL1DP1)或四站工作站單元(DL4,DP4

2、DP4非常適合生產(chǎn)環(huán)境

3、為處理傳統(tǒng)上被認為“很難”處理的材料或組件提供解決方案

 

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